发明专利已授权

基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制备方法

📄 申请号：CN201911132448.8 📄 发布日：2026/07/27

著录项目信息

申请日

2019-11-19

公开号

CN110854247B

公开日

2021-04-27

申请人

南京邮电大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L33_06

IPC 分类号

H01L33_06 , H01L33_32 , H01L33_20 , H01L33_00 , B81B7_04 ,

技术画像

所属领域

LED器件 MEMS器件微LED显示技术光电子器件 LED器件

应用场景

微型投影显示, 增强现实（AR）/虚拟现实（VR）, 光通信, 激光显示, 智能照明

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摘要

本发明公开了一种基于MEMS扫描微镜的发射方向可控的蓝光微LED器件及其制造方法，实现载体为蓝宝石衬底氮化物晶片和绝缘体上硅（SOI）晶片，蓝宝石衬底氮化物晶片包括顶层氮化物和位于顶层氮化物下部的蓝宝石衬底层，蓝宝石衬底层通过激光剥离技术将其剥离，顶层氮化物和镍/金电极构成阵列式微LED器件，SOI晶圆片顶层设置有MEMS扫描微镜，并通过阳极键合技术将扫描微镜与微LED集成，本发明在MEMS微镜上集成了阵列式微LED，可以做可见光通信或显示用的光源，也可以在可见光通信里作为光电接收模块。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种酶染色的莱赛尔纤维面料及其制备方法

当前第 / 件

一种存在智能干扰的频谱感知时间优化方法

同领域国内专利 · IPC: (H01L33_06)

H01L33_00 H01L33_02 H01L33_04 H01L33_06 H01L33_10 H01L33_12 H01L33_14 H01L33_18 H01L33_20 H01L33_24 H01L33_32 H01L33_38 H01L33_44 H01L33_48 H01L33_50 H01L33_52 H01L33_54 H01L33_56 H01L33_58 H01L33_60 H01L33_62 H01L33_64 覆盖22个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：43 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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