发明专利已授权

液相法生长碳化硅的电磁感应频率确定方法、装置和产品

📄 申请号：CN202410606604.4 📄 发布日：2026/07/24

著录项目信息

申请日

2024-05-16

公开号

CN118171546B

公开日

2024-08-13

申请人

西安交通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_23

IPC 分类号

G06F30_23 , C30B11_00 , C30B29_36 , G06F111_10 , G06F119_08 ,

技术画像

所属领域

碳化硅晶体生长碳化硅晶体生长半导体材料电磁感应加热

应用场景

碳化硅单晶衬底制造, 半导体晶体生长设备, 功率半导体器件, 电力电子器件, 新能源汽车

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本申请提供了一种液相法生长碳化硅的电磁感应频率确定方法、装置和产品，涉及单晶生长技术领域，该方法为：根据液相法生长碳化硅系统，建立电磁感应加热数值模型和数值传热模型；保持电磁感应加热电流不变，将电磁感应频率按照第一梯度依次增大，模拟不同电磁感应频率下的电磁感应加热过程，得到第一模拟结果；根据电磁感应加热效率，确定感应加热高效区间；电磁感应加热效率表示，核心部件的感应热量在总感应热量中的占比；保持坩埚底部中心处温度为目标温度，模拟感应加热高效区间内，按照第二梯度依次增大的电磁感应频率的电磁感应加热过程，得到第二模拟结果；将电磁感应加热效率最高值所对应的电磁感应频率，确定为最佳电磁感应频率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

基于深度学习的直拉法单晶硅热场估计方法、装置和产品

当前第 / 件

一种单斜晶体各向异性导热率张量的确定方法及装置

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_23)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

暂无同领域相似专利推荐

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：53 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 0件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)