发明专利已授权

基于深度学习的直拉法单晶硅热场估计方法、装置和产品

📄 申请号：CN202410468983.5 📄 发布日：2026/07/24

著录项目信息

申请日

2024-04-18

公开号

CN118821578B

公开日

2025-09-26

申请人

西安交通大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G06F30_27

IPC 分类号

G06F30_27 , G06F17_11 , G06F17_16 , G06F17_18 , G06F18_214 , G06Q10_04 , G06N3_04 , G06N3_08 , G06F119_08 ,

技术画像

所属领域

深度学习深度学习热场估计单晶硅生长工艺

应用场景

单晶硅生产, 半导体材料制造, 光伏硅片制造, 晶体生长过程控制

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摘要

本申请提供了一种基于深度学习的直拉法单晶硅热场估计方法、装置和产品，涉及单晶硅制备技术领域，所述方法包括：获取直拉法制备单晶硅过程中的历史工况数据；基于本轮训练的共享参数，训练热场估计模型，得到本轮训练的输出结果；根据本轮训练的共享参数，以及具有高斯分布的动量变量，更新得到下一轮训练的共享参数；根据损失函数值对热场估计模型进行参数优化；基于下一轮训练的共享参数，对热场估计模型进行下一轮训练，直至达到预设训练次数；将最后S轮训练所得到的输出数据中的温度预测值的平均值，确定为对应位置的温度值，根据最后S轮训练所得到的输出数据中的温度预测值的标准差，确定热场估计模型的不确定性衡量值。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种碳纤维材料加工用原材料加热注塑装置

当前第 / 件

液相法生长碳化硅的电磁感应频率确定方法、装置和产品

同领域国内专利 · IPC: (G06F30_27)

G06F30_00 G06F30_10 G06F30_12 G06F30_13 G06F30_15 G06F30_17 G06F30_18 G06F30_20 G06F30_22 G06F30_23 G06F30_25 G06F30_27 G06F30_28 G06F30_30 G06F30_31 G06F30_32 G06F30_323 G06F30_327 G06F30_33 G06F30_3308 G06F30_331 G06F30_3315 G06F30_3323 G06F30_337 G06F30_34 G06F30_36 G06F30_367 G06F30_373 G06F30_39 G06F30_392 G06F30_394 G06F30_396 G06F30_398 覆盖33个领域

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