发明专利已授权

一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

📄 申请号：CN202210597856.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-05-30

公开号

CN114959611A

公开日

2022-08-30

申请人

陕西工业职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_50 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备混联机构精密运动控制

应用场景

真空镀膜, 光学薄膜制备, 微纳结构加工, 半导体器件制造, 功能薄膜沉积

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摘要

本发明公开了一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，涉及真空溅射镀膜技术领域。本发明包括固定外壳、固定外壳上侧装设有传动塔，传动塔上转动配合有实验盘组件，传动塔内装设有与实验盘组件相对应的屈臂控制组件；传动塔的下侧装设有位于固定外壳内的传动机构，固定外壳内壁周侧装设有与传动塔相对应的多个公转驱动机构、多个自转驱动机构。本发明能通过屈臂控制组件、公转驱动机构与自转驱动机构的配合下，使实验盘组件在传动塔上的中心传动远点处进行自转以及0‑90°的摇摆，使其具有多种旋转自由度，满足工件表面的掠射角连续溅射工艺的需求。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台

当前第 / 件

一种基于马铃薯的氮磷共掺杂碳点@ZIF-8及其制备方法和应用

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：24 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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