发明专利已授权

一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

Name: 一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台
Brand: 陕西工业职业技术学院
SKU: 2022105978566
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210597856.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-05-30

公开号

CN114959611A

公开日

2022-08-30

申请人

陕西工业职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_50 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备混联机构精密运动控制

应用场景

真空镀膜, 光学薄膜制备, 微纳结构加工, 半导体器件制造, 功能薄膜沉积

AI 智能推荐 · 同申请人专利 · 搜索相似专利

摘要

本发明公开了一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台，涉及真空溅射镀膜技术领域。本发明包括固定外壳、固定外壳上侧装设有传动塔，传动塔上转动配合有实验盘组件，传动塔内装设有与实验盘组件相对应的屈臂控制组件；传动塔的下侧装设有位于固定外壳内的传动机构，固定外壳内壁周侧装设有与传动塔相对应的多个公转驱动机构、多个自转驱动机构。本发明能通过屈臂控制组件、公转驱动机构与自转驱动机构的配合下，使实验盘组件在传动塔上的中心传动远点处进行自转以及0‑90°的摇摆，使其具有多种旋转自由度，满足工件表面的掠射角连续溅射工艺的需求。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114959611A

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台

当前第 / 件

一种基于马铃薯的氮磷共掺杂碳点@ZIF-8及其制备方法和应用

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

C23C14_00 C23C14_02 C23C14_04 C23C14_06 C23C14_08 C23C14_14 C23C14_16 C23C14_18 C23C14_20 C23C14_22 C23C14_24 C23C14_26 C23C14_28 C23C14_30 C23C14_32 C23C14_34 C23C14_35 C23C14_46 C23C14_48 C23C14_50 C23C14_52 C23C14_54 C23C14_56 C23C14_58 覆盖24个领域

议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：53 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

陈**¥-3万

查看全部出价

我要出价 (议价)

一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

著录项目信息

技术画像

所属领域

应用场景

摘要

常见问题

这项专利是否已经下证？

购买这项专利需要经过哪些流程？

该专利的转让价格是多少？

法律状态时间线

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_35)

相似专利推荐 AI 驱动 · 同领域

一种硼掺杂石墨烯-SnO2传感电极的制备及水杨酸检测中的应用

真空镀膜机的抽气机构

稳定便捷型真空镀膜机的蒸发舟

服务项目

资源中心

关于柿子坊