发明专利已授权

一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台

Name: 一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台
Brand: 陕西工业职业技术学院
SKU: 2022105978443
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210597844.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2022-05-30

公开号

CN114959610B

公开日

2023-08-22

申请人

陕西工业职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_50 , C23C14_54 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备薄膜沉积技术精密运动平台

应用场景

半导体制造, 光学薄膜制备, 表面工程, 纳米薄膜研发

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摘要

本发明公开一种平行臂式三自由协同驱动型薄膜掠射角溅射平台，包括外壳；外壳内安装有公转驱动组件及中央动作结构组件；中央动作结构组件包括工作台，传动塔，自转传动组件及公转传动组件；自转传动组件安装于框体内，公转传动组件安装于框体外周壁，传动塔安装于框体顶部；框体置于外壳内腔中部。本发明在保证系统可靠性、易维护性以及一定系统冗余程度的前提下，实现了载物实验盘在传动塔上端中枢传动轴为原点作自转、摇摆、公转三个自由度的独立、协同、连续、自动化控制，能够满足新要求下高新材料镀膜溅射实验所需性能指标。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN114959610B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种黄土滑坡综合治理结构及其施工方法

当前第 / 件

一种屈臂式混联驱动型薄膜掠射角溅射平台

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：52 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

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