发明专利已授权

一种基于微纳加工技术的高亮度LED芯片制备方法

📄 申请号：CN202311308812.8 📄 发布日：2026/07/22

著录项目信息

申请日

2023-10-11

公开号

CN117059713B

公开日

2024-02-02

申请人

深圳市领耀东方科技股份有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

H01L33_00

IPC 分类号

H01L33_00 , H01L33_06 , H01L33_22 ,

技术画像

所属领域

微纳加工技术半导体光电子器件微纳加工工艺 LED芯片制造微纳加工技术

应用场景

通用照明, 显示背光源, 汽车车灯, 投影光源, 特种照明

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摘要

本发明涉及高亮度LED芯片制备方法技术领域，具体的说，涉及一种基于微纳加工技术的高亮度LED芯片制备方法。先通过对InGaN基片进行微纳加工，使其经过电化学刻蚀，增加其发光面积，提高光的提取效率；随后以InGaN为衬底，在其表面采用射频磁溅射系统，制备出ZnO薄膜、ZnMgO薄膜和NiO薄膜，ZnO具有更高的激子束缚能和廉价的材料价格，在ZnO薄膜和NiO薄膜间的ZnMgO薄膜比ZnO具有更大的禁带宽度，可以起到载流子限域作用，提高LED芯片的亮度。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：26 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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