发明专利已授权

用于制备BiGaO3薄膜的真空反应腔

Name: 用于制备BiGaO3薄膜的真空反应腔
Brand: 南通大学技术转移中心有限公司
SKU: 2017105793164
Availability: InStock

📄 申请号：CN201710579316.4 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2015-11-11

公开号

CN107475688B

公开日

2019-05-03

申请人

南通大学技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_40

IPC 分类号

C23C16_40 , C23C16_52 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备薄膜沉积半导体制造设备

应用场景

薄膜材料制备, 半导体器件制造, 铁电存储器, 光电器件, 电子功能材料

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摘要

一种用于制备BiGaO3薄膜的真空反应腔，包括有多个分隔空间，分别用于通入铋前驱体气体、镓前驱体气体、氧前驱体气体、惰性气体；BiGaO3薄膜材料采用前驱体自限制性表面吸附反应得到，化学吸附反应在真空反应腔中进行。通过采用本发明的制备BiGaO3薄膜材料的方法，可以实现BiGaO3薄膜生长厚度的精确可控，且BiGaO3薄膜表面平整度大大优于现有技术。由于各种气体的通入是连续不断、且流速恒定，薄膜的厚度仅取决于衬底转过的次数，工艺变得极为简单、可靠。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN107475688B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

制备铝镓酸铋薄膜的气体脉冲序列

当前第 / 件

用于制备组分渐变的铝镓酸铋薄膜的装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：161 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

✓ 企业认证✓ 手机绑定历史成交 2657件好评率 98.5%

📊 出价记录 (3条)

王**¥-10万

李** 企业¥-8万

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