本实用新型公开了化学气相沉淀技术领域的基于化学气相沉淀室的可更换夹环机构，包括沉淀室、承接环、覆盖环和移动板，覆盖环的底部设有第二环板，第二环板内侧设有多个卡槽，基座上对应设有多个转动槽，转动槽中设有卡接组件，且多个卡接组件与移动板连接，本实用新型通过将基板、承接环和覆盖环放置到对应位置，第一电磁铁和第二电磁铁通电相吸，使移动板带动卡接组件上移，并通过卡接组件中的卡爪与覆盖环上卡槽的底面接触，使覆盖环位置固定，进而使承接环和基板位置固定；通过使第一电磁铁和第二电磁铁断电，即可使卡接组件与卡槽脱离，从而能够取出承接环和覆盖环，使得承接环和覆盖环更换简单方便。
📄 2022209520868
📂 C23C16_458
👤 广州市鸿浩光电半导体有限公司
📅 2022-04-24
本发明涉及半导体加工领域，公开了一种半导体处理设备，包括基座、外壳和晶舟基座上设有注气端口，外壳上设有抽气端口，外壳罩覆在晶舟外侧，晶舟每层支撑平台的上方均设有注气盘，注气盘包括上盘体和转动在上盘体底部的下盘体，上盘体内部设有加压气道和叶轮腔，加压气道与注气端口连通，叶轮腔内设有与下盘体固定的叶轮，下盘体内部设有与叶轮腔连通的布气腔，布气腔的底部开设有条形布气口。本发明可解决现有技术中对晶圆沉积过程中薄膜厚度均匀程度的解决方式，或采用气体从外环绕向晶圆中心扩散接触的方式，或采用晶圆在大量气体环境中旋转接触气体的方式，均存在沉积的薄膜边缘厚度大于中心厚度的情况，薄膜厚度仍存在不均匀的问题。
📄 2023109658523
📂 C23C16_458
👤 重庆理工大学
📅 2023-07-31
本实用新型涉及光伏相关技术领域，尤其涉及一种用于太阳能PECVD工艺载板，包括普通隔块，所述普通隔块的下方表面设置有减振机构。该一种用于太阳能PECVD工艺载板，通过减振机构的设置，当产生振动时，振动优先通过防滑底盘，由于防滑底盘的材质为硅橡胶，在振动从防滑底盘通过至固定柱时，部分能量被防滑底盘吸收，随后振动传至连接柱与弹簧套筒内的减震弹簧，减震弹簧通过吸收振动转化为弹性势能，继续减小从底层传来的振动，这样设置，有效减少振动传递到载板及电池片，避免因振动导致电池片在载板上位移，从而确保在电池片表面进行的薄膜沉积过程均匀性不受破坏，保障薄膜的质量，进而减小了生产成本和生产周期。
📄 2024229434417
📂 C23C16_458
👤 厦门市俊亦精密机械有限公司
📅 2024-11-29
本实用新型提供了一种用于硅片双面镀膜载板，包括框架，框架由两根纵杆和纵杆之间的若干横杆组成，框架内可拆卸固定有若干载板本体，载板本体设于相邻两根横杆之间；横杆垂直于纵杆，且横杆两端通过第一连接件与纵杆侧面连接，第一连接件一面设有一插槽，横杆两端均设有用于插入插槽内的突出部，第一连接件另一面设有两个第一凸台，第一凸台插入纵杆侧面进行定位，纵杆与第一连接件之间通过第一螺栓进行固定，第二螺栓穿过纵杆和第一连接件与横杆固定；第一连接件两侧均设有支撑台，支撑台上端面与载板本体抵接，并通过螺栓将二者固定。本实用新型结构稳定性更高，且框架零件便于加工。
📄 2024226468356
📂 C23C16_458
👤 厦门市俊亦精密机械有限公司
📅 2024-10-31
本发明公开了一种可改善石墨舟印的新型石墨舟，包括石墨舟壳体，石墨舟壳体内设置有多个卡接工位，每个卡接工位内均固接有多个竖直排列的固定箱，固定箱的两侧均开设有连接孔，固定箱内设置有驱动机构，连接孔内活动设置有夹板，驱动机构用于驱动夹板沿着连接孔水平滑动，其中，夹板伸出连接孔的一侧为倾斜设置。本发明通过设置多个固定箱，固定箱内的驱动机构驱动两侧的夹板活动，夹板的外侧面为倾斜设置，从而使得放置槽为倾斜设置，在固定电池片时可以倾斜固定，增加了电池片与夹板之间的接触面积，达到充分固定电池片的效果，避免电池片与石墨舟之间因抽真空而产生摩擦，进而降低舟印的出现概率。
📄 2020111614394
📂 C23C16_458
👤 金寨嘉悦新能源科技有限公司
📅 2020-10-27
本实用新型公开了一种用于提高刀具强度和耐磨性的后处理设备，属于刀具技术领域，其技术方案要点包括处理壳体和密封盖板，所述处理壳体圆周内壁中部通过轴承转动连接有安装板，且安装板顶部外壁开设有等距离分布的通孔，处理壳体圆周内壁安装有弧形槽，环形槽的底部内壁安装有锥形齿轮环，所述安装板顶部外壁一侧安装有第一固定板，安装板顶部外壁另一侧安装有电动推杆；一种用于提高刀具强度和耐磨性的后处理设备，通过设置在密封盖板下的密封环，配合处理壳体顶部的环形堵块和固定弹簧，使反应气体在待镀端表面发生化学反应使反应后的析出物均匀涂覆在刀具待镀端上，提高了刀具的强度和耐磨性。
📄 2021213158502
📂 C23C16_458
👤 烟台开发区锋神刀具有限公司
📅 2021-06-15
已申报项目
本实用新型公开了一种半导体生产用的气体反应装置，包括罐体，所述罐体后侧顶端位置处固定连接有舵机，所述舵机输出端固定连接有一号固定杆，所述一号固定杆前端固定连接有碟盘，所述碟盘上下两面分别设置有四个均匀分布的反应槽，所述反应槽左右两端分别设置有弹簧片，所述碟盘上下两面分别设置有引气道，所述碟盘右侧设置有旋转槽，所述旋转槽内部中转动连接有二号固定杆，所述碟盘外径上下两端分别设置有卡槽，顶端所述卡槽外径前后两侧分别滑动连接有滑块，所述滑块与卡槽不相对的一侧分别固定连接有封壳。本实用新型中，通过简化半导体的更换步骤，使碟盘进行自主的旋转和双面性来对半导体的生产效率进行提升。
📄 2022227249535
📂 C23C16_458
👤 青岛柏事泰科技有限公司
📅 2022-10-15
已申报项目
本实用新型涉及材料制造技术领域，且公开了一种密齿立式石英舟，包括主体，所述主体的内部开设有第一预留槽，所述第一预留槽的内壁开设有多组限位槽，所述主体的内部均设置有隔离机构。该种密齿立式石英舟，对主体内部空间进行分区时，首先，将隔板放置于第一预留槽的内壁，使得隔板一侧固定连接的卡块滑动到限位槽的内壁，通过限位板上端开设的斜面使得限位板沿着限位槽的内壁进行水平移动，使得弹簧压缩，该结构的设置，有效避免了石英舟无法同时对两种溶剂进行盛放的问题，可以达到对石英舟内部进行分区的效果，同时，减少了加工所需的时间，提高了溶剂处理效率，也可以在实际使用的过程中提高石英舟的通用性，也利于石英舟的广泛推广。
📄 2023223944360
📂 C23C16_458
👤 连云港亮迪石英科技有限公司
📅 2023-09-05
本实用新型公开了一种冷壁法CVD沉积装置，包括底座、沉积管、马达和弹性块，所述底座的底表面固定安装有沉积箱，沉积箱的顶端内部贯穿安装有沉积管，所述沉积管的内部中间固定安装有轴座，轴座中间设有框架，且框架通过轴杆转动安装在轴座的中间，所述框架的内部开设有嵌口，嵌口的内部一侧开设有第二凹口，嵌口的内部另一侧设有第一凹口，第一凹口开设在抵板的内部。本实用新型在沉积管的内部中间固定安装了一个可翻转的框架，将需要加工的晶片嵌入固定在框架内部，在沉积加工晶片一面后工作人员可控制马达转动框架使其晶片另一面可被加工，达到了方便工作人员使用以及节省时力和材料的效果。
📄 2020220427388
📂 C23C16_458
👤 山东沐东真空科技有限公司
📅 2020-09-17
已申报项目
本实用新型涉及工装器械领域，具体的说是一种具有翻转效果的硫化锌加工用沉积箱，包括；沉淀箱，沉淀箱的内壁开设有转动孔，转动孔的内壁转动连接有第一转轴，第一转轴的一端固定连接有安装座，安装座的一侧端固定连接有第二转轴，第二转轴与沉淀箱的内壁转动连接，通过固定机构可以对进入安装座内的凸模衬垫进行固定，防止翻转掉落，当需要翻面时，通过定位组件将第一转轴的转动进行锁定，保持平行地面防止发生翻转歪斜，通过防回退组件使得定位组件不会回退锁定，通过驱动组件可以驱动第一转轴转动，完成翻转。
📄 2023233787648
📂 C23C16_458
👤 成都智仁合光电有限公司
📅 2023-12-12
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