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法律状态：全部已授权审中

项目申报：全部报过没有报过

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本发明涉及一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法，它包括：沉积组件，所述沉积组件包括依次连接的第一L/L腔室、第一本征I层沉积腔室、P型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第一转换腔室、第二本征I层沉积腔室、N型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第二转换腔室、PVD腔室以及第二L/L腔室，各腔体之间采用真空锁结构连接；输料组件，所述输料组件用于硅片的进料和出料，包括安装在所述沉积组件两端以及其各腔体内的输料单元。通过在沉积组件的两端以及其各腔体内安装输料单元，能够实现硅片的自动化进料和出料，从而提高了其自动化程度和生产效率。

📄 2019108500249 📂 C23C16_54 👤 苏州帕萨电子装备有限公司 📅 2019-09-10

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一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法

2019108500249 · 苏州帕萨电子装备有限公司

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转让方：××大学
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交易类型：转让
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交易类型：转让
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钙钛矿光伏组件技术

转让方：××科技公司
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交易类型：开放许可
交易金额：¥50万/年

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