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本实用新型公开了一种制备防结焦涂层的基片用装载工装，包括：支撑底座和设置在所述支撑底座顶部的翻转气缸，以及设置在所述翻转气缸顶部的装载组件；支撑底座固定在合适的位置后，通过推动气缸带动若干负压吸盘上升或下降至合适的装载高度，通过支撑块一侧装载板的若干负压吸盘对基片的吸附，可以对基片提供平稳可靠的装载条件，通过翻转气缸，可以将支撑块另一侧装载板上的若干负压吸盘调换在基片的上，完成调换后，已经吸附基片的若干负压吸盘将基片放下，未吸附基片的若干负压吸盘将基片吸附，往复此过程，可以高效的对基片完成装载工作，进而避免人工长时间装载工作造成的注意力不集中等情况的发生，提高了装置的可靠性。