发明专利已授权

用于制备组分渐变的铝镓酸铋薄膜的装置

📄 申请号：CN201710579317.9 📄 发布日：2026/04/10

著录项目信息

申请日

2015-11-11

公开号

CN107460450B

公开日

2021-03-19

申请人

南通大学技术转移中心有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_455

IPC 分类号

C23C16_455 , C23C16_52 , C23C16_40 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备设备薄膜制备设备薄膜材料半导体材料

应用场景

薄膜材料制备, 半导体器件制造, 光电材料加工, 功能薄膜研发, 材料科学研究

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摘要

一种用于制备组分渐变的Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜材料的装置，薄膜材料采用自限制性表面吸附反应得到。在由程序控制的每个生长周期中，设置两个计数器分别用于设定和控制每一个生长周期中有机铝源气体脉冲、有机镓源气体脉冲的数量，在逐次生长过程中，其中一个计数器的值逐渐增加，另一个计数器的值逐渐减小。通过采用本发明的装置制备Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜材料的方法，可以实现组分渐变、跨越准同型相界的Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜材料，且Bi(AlxGa1‑x)O3薄膜生长厚度的精确可控。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20230905

?? 专利权的转移：

20210319

✅ 授权

20180105

?? 实质审查的生效：

20171212

📄 公开

用于制备BiGaO3薄膜的真空反应腔

当前第 / 件

一种硬币包装设备

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