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本实用新型公开了一种可控的真空镀铝机中均匀通入氧气的装置，通过氧气瓶提供氧气，包括转接头、内管、外管，其中转接头的一侧连接有储气管，储气管分别通过轴承连接外管和内管，外管包绕于内管外，所述外管和内管的另一端通过轴承连接有轴一和轴二，并由轴一和轴二单独带动驱动，所述转接头与内管之间通过转动以控制氧气的流量大小。本方案通过气泵输出的恒定气压，经转接头进入储气管传而导至内管内，氧气通过内管放气孔进入外管，再通过外管的放气孔进入镀膜区域，同时内管与外管均可通过驱动转动，内管与外管放气孔的转动配合以及针阀来调节通入氧气的流量，并通过外管的旋转来调整氧气通入的位置与角度，以此来调节通入氧气分布的均匀性。

本实用新型公开一种带深冷主辊的卷绕式真空镀膜机，用于新能源动力电池领域中在柔性基膜上制备多层膜层，该真空镀膜机主要包括放卷室、真空蒸发镀膜室、收卷室、卷绕系统；放卷室、真空蒸发镀膜室和收卷室是由室间隔板在真空镀膜机的真空室中分隔而成；真空蒸发镀膜室有2‑8个，呈层叠分两列排布，真空蒸发镀膜室内设置有蒸发装置；卷绕系统主要包括放卷辊、收卷辊，以及各真空蒸发镀膜室中设置的深冷主辊、前预冷辊和后预冷辊；位于蒸发装置上方的深冷主辊承载需要进行蒸发镀膜的基膜，深冷主辊内部通入循环冷却液，对基膜进行‑150℃至‑220℃的深冷处理；两列真空蒸发镀膜室结合卷绕系统各辊的布置实现在基膜的两面镀制多层膜层。(ESM)同样的发明创造已同日申请发明专利