发明专利已授权

在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法

📄 申请号：CN201310021022.1 📄 发布日：2025/12/23

著录项目信息

申请日

2013-03-08

公开号

CN103060764B

公开日

2015-03-25

申请人

南京信息工程大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_08 ,

技术画像

所属领域

薄膜制备薄膜制备表面处理金属表面工程

应用场景

金属防腐, 光电器件, 抗菌表面, 传感器, 耐磨涂层

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摘要

本发明在金属材料表面镀ZnO薄膜的方法，涉及材料表面改性领域。所述方法：将金属材料进行表面抛光处理和清洗，放入磁控溅射炉内，氧化锌置于靶位，金属材料与氧化锌的极间距为3-5 cm；将磁控溅射炉抽真空至真空度为1.0×10-4Pa-5.0×10-4Pa，充入氩气至压强为1-10 Pa，清洗和活化金属材料；充入氧气和氩气的混合气体至压强为20-35Pa，溅射功率50-80W，磁控溅射炉内的温度至320-380°C，保温；关闭电源，将磁控溅射炉内抽真空，冷却至室温出炉。该方法工艺简单，生产成本低；ZnO薄膜在磨损过程中具有明显的发光特性，且摩擦系数低、耐磨性好。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：112 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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