发明专利已授权

一种多室连续光学镀膜机

📄 申请号：CN202410986962.2 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2024-07-23

公开号

CN118910576B

公开日

2025-11-21

申请人

南京耶拿光电技术有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_56

IPC 分类号

C23C14_56 , C23C14_50 , C23C16_54 , C23C16_458 ,

技术画像

所属领域

光学镀膜光学镀膜真空镀膜设备连续式镀膜设备

应用场景

光学元件制造, 精密光学仪器, 显示器件, 消费电子, 光通信器件

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摘要

本发明公开了一种多室连续光学镀膜机，属于光学镀膜技术领域，解决了现有工装夹具中正反丝杆与夹板无法控制基片完成旋转动作，同时工作夹具无法对异形基材进行夹持固定，从而使得薄膜厚度和均匀性无法保证的问题，包括：镀膜机体、基材承托机构、连续送料组件、光学镀膜组件，镀膜机体包括外壳体、镀膜机座、观察窗，外壳体内依次设置有基材净化腔以及光学镀膜腔；本发明实施例中，设置有基材承托机构，基材承托机构由角度调节电机、基材承托盘、基材限位部以及联动调节部组件，联动调节部的设置能够在基材承托盘运动时带动联动调节部运动，实现了带动基材旋转的同时光学镀膜组件同步镀膜作业，保证了镀膜的厚度和均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

完全解耦高承载三自由度平面机器人

当前第 / 件

一种工业废气过滤净化装置

同领域国内专利 · IPC: (C23C14_56)

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¥20100.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：68 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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