实用新型已授权

一种半导体配件生产用镀膜装置

📄 申请号：CN202323372306.3 📄 发布日：2025/12/17

著录项目信息

申请日

2023-12-11

公开号

CN222355113U

公开日

2025-01-14

申请人

湖北浚山光电有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_687

IPC 分类号

H01L21_687 , C23C26_00 , H01L21_67 , B05B13_02 , B05B12_32 , B05B15_00 ,

技术画像

所属领域

半导体制造设备半导体制造设备薄膜沉积设备镀膜工艺

应用场景

半导体配件生产, 集成电路制造, 芯片封装, 表面处理

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摘要

本实用新型公开了一种半导体配件生产用镀膜装置，应用在半导体领域，包括底座，所述底座的顶面上固定连接有四个支撑柱，四个所述支撑柱的顶面上固定连接有顶板，所述底座的顶面上固定连接有放置座，所述放置座的内部设置有便于取放半导体的固定机构，所述顶板的两侧设置有镀膜机构，使用时，通过固定机构能够便对半导体在放置座的内部进行取放，能够对放入放置座内部的半导体进行自动夹持固定，同时对半导体在取出时进行自动解除夹持固定，如此，能够便于对半导体在镀膜前后进行取放，同时能够便于对半导体在放置后进行夹持固定，防止半导体在镀膜时发生偏移，通过镀膜机构能够实现将镀膜液均匀喷覆在半导体表面，实现对半导体的高效镀膜作业。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20250114

✅ 授权

升降机

当前第 / 件

一种OLED金属掩膜板清洗装置

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_687)

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¥2300.0 元

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：166 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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