实用新型已授权

一种OLED金属掩膜板清洗装置

📄 申请号：CN202420056482.1 📄 发布日：2025/12/17

著录项目信息

申请日

2024-01-09

公开号

CN221993766U

公开日

2024-11-12

申请人

湖北浚山光电有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

G03F1_82

IPC 分类号

G03F1_82 , B08B11_02 , B08B3_02 , B08B3_14 ,

技术画像

所属领域

金属掩膜板 OLED制造设备掩膜板清洗显示面板制造清洗装置金属掩膜板

应用场景

OLED面板生产, 掩膜板维护, 显示器件制造, 半导体清洗

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摘要

本实用新型公开了一种OLED金属掩膜板清洗装置，包括清洗箱、支撑腿、支撑板和卷盘，所述清洗箱底部的四周固定有支撑腿，所述清洗箱内部的两侧固定有滑轨，所述滑轨上滑动设置有移动板，所述移动板上固定有若干组卡板，所述卡板在移动板上分为两排，所述卡板中滑动放置有掩膜板本体，所述清洗箱内部的底部设置有若干组超声波振动器，所述清洗箱一侧的底部固定有排水管，所述排水管的一端延伸到清洗箱中。本实用新型通过在移动板上设置有若干组卡板，卡板在移动板上设置有两排，且卡板设置有若干组，人们通过将掩膜板本体插入到卡板中，增加装置的放置数量，装置可以一次性清洗多个掩膜板，提高清洗效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种半导体配件生产用镀膜装置

当前第 / 件

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