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著 录 项 目:
专利/申请号: | CN202510349350.7 | 专利名称: | 一种多块筒状半导体晶圆片的粘合设备 |
申请日: | 2025-03-24 | 申请/专利权人 | 高雪燕 |
专利类型: | 发明 | 地址: | 上海市金山区亭林镇油车村3组2076号 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/603 分类检索 |
公开/公告日: | 2025-09-19 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
公开/公告号: | CN120127016B | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
浏览量: | 2 | 所属领域: | 半导体制造设备 晶圆加工技术专利转让搜索 |
应用场景:半导体晶圆片批量粘合工艺;筒状晶圆片制造流程;集成电路封装前处理
摘 要:本发明公开了一种多块筒状半导体晶圆片的粘合设备,涉及晶圆粘合加工技术领域,包括粘合设备,包括放置板、升降电机和晶圆片本体,还包括固定装置和清理装置;其中,固定装置包括压板和固定组件,所述压板固定安装在升降电机的输出端,所述固定组件包括固定框、滑动板、压杆、推压板、连接杆、夹板、夹片、固定杆和托盘,所述固定框固定安装在放置板的上方,所述滑动板滑动安装在固定框的内部,所述压杆固定安装在滑动板的上方,所述推压板滑动安装在固定框的内壁底部,本发明,具有避免晶圆片产生偏移,使得加工过程中晶圆片之间的不匹配或错位,影响提高粘合质量和器件性能,降低晶圆片的加工成本的特点。
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |
申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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