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| 专利/申请号: | CN202223344480.2 | 专利名称: | 一种半导体测试用晶圆固定装置 |
| 申请日: | 2022-12-13 | 申请/专利权人 | 无锡芯源利集成电路有限公司 |
| 专利类型: | 实用新型 | 地址: | 江苏省无锡市新吴区菱湖大道111-2号软件园飞鱼座A302室-G86 |
| 专利状态: | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号: | H01L21/683 分类检索 |
| 公开/公告日: | 2023-04-14 | 转让价格: | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号: | CN218867077U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量: | 37 | 所属领域: | 半导体制造技术 精密机械设计 自动化设备专利转让搜索 |
应用场景:集成电路晶圆测试时的稳定夹持与定位;避免测试过程中因振动导致的位移误差;提升多引脚探针台接触可靠性;适用于逻辑芯片、存储器件等各类半导体元件的功能检测环节
摘 要:本实用新型提供一种半导体测试用晶圆固定装置,涉及晶圆测试技术领域,包括安装座、顶板、方框和液压缸,所述方框的上侧固定连接有固定机构。本实用新型通过设置固定机构,实现在对晶圆进行固定的同时,避免划伤晶圆和晶圆损坏,通过启动薄型气缸,薄型气缸的活动杆向上伸长,并推动连杆的一端,连杆的中部绕着底架的连接点转动,连杆的另一端向下,从而带动螺纹杆和转动球向下,转动球推动球形槽管,固定板获力,通过下表面若干橡胶半球压住晶圆,若干橡胶半球材质是橡胶,不会划伤晶圆,向下压的过程中发生形变,与晶圆接触的表面积扩大,晶圆所受到的压强较小,晶圆不会损坏。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
| 专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
| 解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
| 专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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