实用新型已授权

一种大尺寸硅片插片机分片装置

📄 申请号：CN202222076187.6 📄 发布日：2026/04/02

著录项目信息

申请日

2022-08-09

公开号

CN218123378U

公开日

2022-12-23

申请人

扬州伟业创新科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

H01L21_683

IPC 分类号

H01L21_683 , H01L21_67 , B01D29_56 ,

技术画像

所属领域

硅片分片机构硅片分片机构自动化上下料设备光伏与半导体制造设备

应用场景

光伏电池制造, 半导体晶圆制造, 硅片清洗插片, 自动化产线, 硅片分选

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摘要

本实用新型公开了硅片生产技术领域的一种大尺寸硅片插片机分片装置，包括水箱，水箱顶部设有放置座，水箱顶部设有安装架，安装架内左右侧壁均设有喷水机构，安装架顶部设有液压缸，液压缸输出端连接设有液压杆，液压杆一端贯穿安装架顶部与安装架内设有的固定板相连接，固定板内开设有空腔，空腔内设有移动机构，固定板底部滑动连接设有的安装板，安装板底部设有四组吸盘，本实用解决了传统的大尺寸硅片在清洗过后，在水作用力的情况下使得硅片之间会吸附的很紧，手工方式分片由于用力不均，很容易将硅片弄碎的问题，提高分片效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种用于单晶硅片的脱胶机

当前第 / 件

一种四周具有防护性的单晶硅片

同领域国内专利 · IPC: (H01L21_683)

H01L21_02 H01L21_027 H01L21_04 H01L21_18 H01L21_20 H01L21_208 H01L21_28 H01L21_288 H01L21_302 H01L21_304 H01L21_306 H01L21_3065 H01L21_311 H01L21_324 H01L21_329 H01L21_331 H01L21_335 H01L21_336 H01L21_34 H01L21_368 H01L21_48 H01L21_50 H01L21_54 H01L21_56 H01L21_60 H01L21_603 H01L21_66 H01L21_67 H01L21_673 H01L21_677 H01L21_68 H01L21_683 H01L21_687 H01L21_762 H01L21_768 H01L21_78 H01L21_82 H01L21_8238 H01L21_8244 H01L21_98 覆盖40个领域

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