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一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法

Name: 一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法
Brand: 苏州帕萨电子装备有限公司
SKU: 2019108500249
Availability: InStock

📄 申请号：CN201910850024.9 📄 发布日：2026/07/31

著录项目信息

申请日

2019-09-10

公开号

CN110629206B

公开日

2023-09-19

申请人

苏州帕萨电子装备有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_54

IPC 分类号

C23C16_54 , C23C16_24 , C23C14_56 , C23C14_08 , C23C14_34 , H01L31_20 ,

技术画像

所属领域

薄膜沉积设备薄膜沉积设备异质结太阳能电池光伏制造装备

应用场景

太阳能电池制造, 异质结电池生产, 光伏组件生产, 半导体薄膜沉积, 新能源发电

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摘要

本发明涉及一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法，它包括：沉积组件，所述沉积组件包括依次连接的第一L/L腔室、第一本征I层沉积腔室、P型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第一转换腔室、第二本征I层沉积腔室、N型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第二转换腔室、PVD腔室以及第二L/L腔室，各腔体之间采用真空锁结构连接；输料组件，所述输料组件用于硅片的进料和出料，包括安装在所述沉积组件两端以及其各腔体内的输料单元。通过在沉积组件的两端以及其各腔体内安装输料单元，能够实现硅片的自动化进料和出料，从而提高了其自动化程度和生产效率。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN110629206B

购买这项专利需要经过哪些流程？

平台提供担保交易、全程代办转让手续。买家可委托平台代购，平台协助完成权属尽调、合同签署、国家知识产权局著录项目变更等流程。

该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种自动拆卸过盈配合零件的工业机器人

当前第 / 件

一种真空玻璃布点机

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：56 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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