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本发明涉及一种N型单晶异质结太阳能电池薄膜沉积装备及其沉积方法，它包括：沉积组件，所述沉积组件包括依次连接的第一L/L腔室、第一本征I层沉积腔室、P型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第一转换腔室、第二本征I层沉积腔室、N型掺杂非晶硅薄膜沉积腔室、第二转换腔室、PVD腔室以及第二L/L腔室，各腔体之间采用真空锁结构连接；输料组件，所述输料组件用于硅片的进料和出料，包括安装在所述沉积组件两端以及其各腔体内的输料单元。通过在沉积组件的两端以及其各腔体内安装输料单元，能够实现硅片的自动化进料和出料，从而提高了其自动化程度和生产效率。

本实用新型为电池硅片薄膜沉积设备，具有沉积箱、加热板、进气管和排气管，沉积箱上端设有便于电池硅片取放的箱口，箱口沿沉积箱长度方向的一侧铰接有用于箱口密封的密封盖板；加热板沿沉积箱长度方向分布竖直的固定于沉积箱内底部，沉积箱内底部位于加热板沿沉积箱宽度方向的两侧对称竖直的固定有两用于电池硅片限位放置的放置板；进气管固定于沉积箱沿其长度方向的一侧表面。对混合气体搅拌，提高混合均匀程度，最终气体由分流孔均流导入至沉积箱内部，结合加热板的加热效果，可对两侧的电池硅片同时实现覆膜效果，同时通过改变进气管和排气管的布置方式，使得进气管和排气管横向的分布在沉积箱的两侧，更有利于实现薄膜沉积的进行。