发明专利已授权

一种设有前后门的镀膜箱设备

📄 申请号：CN201611003915.3 📄 发布日：2026/07/20

著录项目信息

申请日

2016-11-15

申请人

陈玲婷

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_22

IPC 分类号

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备薄膜沉积设备镀膜工艺

应用场景

表面处理, 光学镀膜, 装饰镀膜, 半导体制造, 功能薄膜制备

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摘要

本发明公开了一种设有前后门的镀膜箱设备，包括镀膜箱、一对自动门机构和自动门驱动机构，所述镀膜箱的前后两侧开口，镀膜箱的前后开口侧各安装有一个自动门机构，自动门驱动机构安装在镀膜箱的顶部，自动门驱动机构与自动门机构之间通过齿轮齿条啮合连接。它更加方便地将基板放入真空镀膜箱，且方便地将真空镀膜箱开口侧封闭。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20190712

✅ 授权

20190705

⏳ 专利申请权的转移：

20170412

?? 实质审查的生效：

20170315

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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📊 出价记录 (3条)

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