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发明专利
已授权
种磁控溅射织物样品夹持器
📄 申请号:CN201810780477.4
📄 发布日:2026/04/02
著录项目信息
申请日
2018-07-16
公开号
CN108707872B
公开日
2023-10-17
申请人
五邑大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_35
IPC 分类号
C23C14_35
,
C23C14_50
,
技术画像
所属领域
磁控溅射
磁控溅射
真空镀膜
工装夹具
应用场景
功能纺织品制备, 织物表面金属化, 材料表面工程, 真空镀膜加工, 薄膜沉积实验
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摘要
本发明公开了一种磁控溅射织物样品夹持器,包括固定架、样品盘和样品夹紧圈;固定架包括底架、左挡块、右挡块、后挡块、左弹性片和右弹性片,底架设有U型槽,所述左挡块、右挡块、后挡块与底架形成用于容置样品盘的固定腔,所述样品盘通过U型槽可拆卸安装在固定腔内;所述左弹性片和右弹性片对应设置于左挡块和右挡块的内侧靠近U型槽的位置;样品盘设有一圆形凹槽,样品夹紧圈弹性安装在样品盘的圆形凹槽里。本发明的夹持器能夹持住一定大小的圆形织物样品,样品均匀受力使表面平整,样品正面向下受溅射作用而镀膜,解决了现在技术的样品夹持不牢而掉落、柔性样品表面不平整等的不足,样品夹持牢固,表面平整,而且方便更换样品。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
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