晶圆输送装置及半导体设备

摘     要：一种晶圆输送装置及半导体设备，涉及半导体设备技术领域。该晶圆输送装置包括马达、导螺杆、连接马达与导螺杆的联轴器，以及螺接于导螺杆上的晶圆承载台，马达用于带动导螺杆转动，以使晶圆承载台做直线运动；晶圆输送装置还包括检测器和控制器，控制器分别与检测器和马达电连接，检测器用于检测联轴器与马达的连接状态以及联轴器与导螺杆的连接状态并发送至控制器，控制器用于在联轴器脱离马达和/或导螺杆时，控制马达停止转动。该半导体设备包括上述的晶圆输送装置。该晶圆输送装置能够检测马达与导螺杆之间的连接可靠性，避免出现马达与导螺杆不同步的现象。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注