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| 专利/申请号： | CN202321391721.0 | 专利名称： | 硅片清洗机的喷淋机构 |
| 申请日： | 2023-06-02 | 申请/专利权人 | 浙江星宇能源科技有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 浙江省衢州市开化县工业园区茶场片区茶四路2号 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | H01L21/67 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2024-01-23 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN220382051U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 4 | 所属领域： | 半导体制造设备 机械结构设计专利转让搜索 |
应用场景：硅片清洗工艺中的均匀喷淋;提高清洗效率与质量
摘 要：本实用新型涉及半导体生产技术领域，具体为硅片清洗机的喷淋机构，包括：机体，机体用于防止清洗液飞溅；还包括：驱动组件，驱动组件用于驱动夹持组件转动；夹持组件，夹持组件用于夹持硅片；喷淋组件，喷淋组件用于对硅片进行喷淋清洗。本实用新型，通过设置驱动组件，利用第一动力源提供动力，通过齿轮箱传动，从而驱动转动座转动，进而带动夹持组件转动，夹持组件转动会带动硅片转动，从而使得清洗更加均匀彻底，可以满足不同尺寸的硅片的清洗，同时喷淋清洗对硅片表面损伤相对超声清洗更小。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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