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摘 要:本申请提供了一种位移定位侦测装置与系统,涉及定位侦测技术领域。该位移定位侦测装置包括硅片承载器,用于承载硅片;牵引器,与硅片承载器连接,并用于牵引硅片承载器沿预设定轨迹移动;位移传感器,与硅片承载器连接,并在牵引器从第一起始位置移动至第一终点位置时,检测硅片承载器是否从第二起始位置移动至第二终点位置。本申请提供的位移定位侦测装置与系统具有能够对牵引失败的情况进行有效识别的优点。
著 录 项:
专利/申请号: | CN202022150190.9 | 专利名称: | 一种位移定位侦测装置与系统 |
申请日: | 2020-09-25 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
专利类型: | 实用新型 | 地址: | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
专利状态: | 已下证 查询审查信息 | 分类号: | G01B7/00搜分类 通信搜索 |
公开/公告日: | 2021-03-19 | 转让价格: | 面议 |
公开/公告号: | CN212747665U | 交易状态: | 等待洽谈 搜索相似专利 |
交易方 | 企业 | 个人 |
买家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(签字) |
专利转让委托书(需盖公章)一式两份 | 专利转让委托书(需签字)一式两份 | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
卖家 | 营业执照副本复印件(需盖公章) | 身份证复印件(需申请人签字) |
解除代理委托书(需盖公章)一式两份(如专利通过代理机构申请) | 解除代理委托书(需签字)一式两份(如专利通过代理机构申请) | |
专利转让协议(需盖公章)一式两份 | 专利转让协议(需签字)一式两份 | |
专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
专利证原件(若授权下证) | 专利证原件(若授权下证) |
日期 | 法律信息 | 备注 |