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| 专利/申请号： | CN202120248441.9 | 专利名称： | 一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置 |
| 申请日： | 2021-01-28 | 申请/专利权人 | 泉芯集成电路制造(济南)有限公司 |
| 专利类型： | 实用新型 | 地址： | 山东省济南市高新区机场路7617号411-2-9室 |
| 专利状态： | 已下证 查询审查信息 | IPC分类号： | B08B9/032 分类检索 |
| 公开/公告日： | 2021-12-10 | 转让价格： | 【平台担保交易】 |
| 公开/公告号： | CN215089481U | 交易状态： | 等待洽谈 搜索相似专利 |
| 浏览量： | 129 | 所属领域： | 半导体专利转让搜索 |
摘 要：本实用新型属于半导体制造装置领域，公开了一种磊晶装置的清灰管路及磊晶装置。磊晶装置包括磊晶腔体和传送腔体，磊晶装置的清灰管路包括三通阀、排灰气源以及清灰管路，三通阀包括第一接口、第二接口以及第三接口，第一接口连通磊晶腔体，第二接口连通传送腔体，排灰气源能够和第二接口连通，第三接口连通清灰管路，三通阀的第二接口被配置为与第一接口和第三接口同时断开或者择一连通。第二接口与第一接口连通，平衡了磊晶腔体和传送腔体之间的压差。第二接口和第三接口连通，再将第二接口连通于排灰气源，从而使均压管路中的微尘能够通过清灰管路排出，清洁了管路内的灰尘，结构简单，实施方便。
| 交易方 | 企业 | 个人 |
| 买家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（签字） |
| 专利转让委托书（需盖公章）一式两份 | 专利转让委托书（需签字）一式两份 | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 卖家 | 营业执照副本复印件（需盖公章） | 身份证复印件（需申请人签字） |
| 解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请） | 解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请） | |
| 专利转让协议（需盖公章）一式两份 | 专利转让协议（需签字）一式两份 | |
| 专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件 | 专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件 | |
| 专利证原件（若授权下证） | 专利证原件（若授权下证） |
| 日期 | 法律信息 | 备注 |
| 申请号 | 专利名称 | 发布日期 |
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