发明专利已授权

一种真空镀膜中样品翻转装置

Name: 一种真空镀膜中样品翻转装置
Brand: 安徽工业大学
SKU: 2021100314422
Availability: InStock

📄 申请号：CN202110031442.2 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-01-11

公开号

CN112877667B

公开日

2022-11-25

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_50

IPC 分类号

C23C14_50 , C23C14_24 , C23C14_04 , C23C14_14 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备镀膜夹具翻转机构

应用场景

真空镀膜加工, 表面处理, 光学镀膜, 电子器件镀膜, 工业自动化生产线

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摘要

本发明公开一种真空镀膜中样品翻转装置，包括旋转轴、固定架、转盘、翻转栅条、被动齿轮、主动齿轮和固定转动部，所述旋转轴通过所述固定架与所述转盘固定连接，所述旋转轴的轴线穿过所述转盘中心，所述旋转轴带动所述转盘绕自身轴线旋转，所述翻转栅条设置在所述转盘上，且所述翻转栅条可绕自身轴线转动，一所述翻转栅条的一端固定设置有所述主动齿轮，其余所述翻转栅条的一端固定设置有所述固定齿轮，所述固定转动部可与所述主动齿轮传动连接，所述主动齿轮和相邻的所述固定齿轮啮合连接，相邻所述固定齿轮之间啮合连接；本发明的有益效果是样品在翻转时不需要额外的真空室空间，也不会对有效镀膜面积造成浪费。

常见问题

这项专利是否已经下证？

是的，该专利已下证，法律状态为“已下证”，公开号： CN112877667B

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该专利的转让价格是多少？

当前标价为议价，可委托平台代购或预约谈判。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

20221125

✅ 授权

20210618

?? 实质审查的生效：

20210601

📄 公开

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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