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发明专利
已授权
一种箱式镀膜设备
📄 申请号:CN201610848267.5
📄 发布日:2025/10/15
著录项目信息
申请日
2016-09-23
公开号
CN106435468A
公开日
2017-02-22
申请人
东莞市联洲知识产权运营管理有限公司
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_00
IPC 分类号
C23C14_00
技术画像
所属领域
真空镀膜
真空镀膜
薄膜沉积
表面处理
应用场景
光学镀膜, 工具涂层, 装饰镀膜, 半导体制造, 工业自动化
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摘要
本发明公开了一种箱式镀膜设备,包括镀膜箱,镀膜箱的前后两侧开口,镀膜箱的前后两侧开口均设有自动门机构;镀膜箱内的底板上设有对基板进行导向的第一导轨;镀膜箱的前侧开口处设有固定幅度的摆杆机构。操作人员将基板放置在导轨上,摆杆摆动,推动基板沿导轨进入镀膜箱;由于摆杆的摆动幅度固定,因此,摆杆每摆动一次,基板移动的距离一定,基板能够准确地定位在镀膜箱内的镀膜位置。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
法律状态时间线
20201215
?? 专利权的转移 :
20181002
✅ 授权
20180907
⏳ 专利申请权的转移 :
20170322
?? 实质审查的生效 :
20170222
📄 公开
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委托待转让
📌 交易状态:
在售
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未申报
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