一种大尺寸晶圆及其制备方法

摘     要：本发明涉及一种大尺寸晶圆的制备方法，通过提供一初始衬底晶圆和单晶锭材料；对单晶锭材料进行微机械修整，形成单晶锭柱体，再对单晶锭柱体进行第一次离子注入，起泡剥离后形成键合嵌片；对键合嵌片进行第二次离子注入，将多个第二次离子注入后的键合嵌片与初始衬底晶圆进行对称/非对称键合，即根据预先设计好的版图进行键合，以得到组合晶圆；对组合晶圆进行退火，起泡剥离键合嵌片的一部分；对组合晶圆表面及键合嵌片间隙淀积化合物薄膜，并进行化学机械抛光，停止于键合嵌片表面，得到大尺寸晶圆。本发明采用了离子注入智能剥离的方法，将多个键合嵌片同时键合和剥离，且剥离后的键合嵌片可循环利用，极大地降低了生产成本。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期

  法律信息

  备注