一种埋层外延超结二极管及其制作方法

摘     要：本发明提供了一种埋层外延超结二极管及其制作方法。所述埋层外延超结二极管的制作方法包括：在第一N型外延层形成P型埋层；在所述第一N型外延层表面制作第二N型外延层并形成沟槽；在所述第二N型外延层的沟槽进行P型注入并在所述第二N型外延层形成P型注入区；在所述第二N型外延层表面形成P型外延层，所述P型外延层与所述第二N型外延层的P型注入区相接触；通过退火激活所述第一N型外延层的P型埋层和所述第二N型外延层的P型注入区的注入离子，并且在退火之后所述P型注入区延伸到与P型埋层相接触。本发明提供的埋层外延超结二极管的制作方法工艺简单，可以有效降低器件的制造成本，并提高器件的性能。

著 录 项： 

• 1． 买家选定所需专利，确认国家手续办理方，下单，确认交易合同；
  2． 卖家确认专利可交易；
  3． 买家支付交易款项到平台；
  4． 买卖双方签订《专利转让委托书》、《转让协议》、《解除代理委托书》各一式两份并提交给办理国家手续方；
  5． 办理国家手续方提交办理官方手续，国家知识产权局1个月左右下发《著录项目变更手续合格通知书》；
  6． 买家确认收到《专利证书》、《著录项目变更手续合格通知书》；
  7． 平台把交易款项支付给卖家，至此专利转让合同完成。
  

• 交易方	企业	个人
  买家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（签字）
  	专利转让委托书（需盖公章）一式两份	专利转让委托书（需签字）一式两份
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  卖家	营业执照副本复印件（需盖公章）	身份证复印件（需申请人签字）
  	解除代理委托书（需盖公章）一式两份（如专利通过代理机构申请）	解除代理委托书（需签字）一式两份（如专利通过代理机构申请）
  	专利转让协议（需盖公章）一式两份	专利转让协议（需签字）一式两份
  	专利请求书或手续合格通知书、授权通知书复印件	专利请求书或手续合格通知书、专利授权通知书复印件
  	专利证原件（若授权下证）	专利证原件（若授权下证）

• 日期	法律信息	备注
  2020/11/17	专利申请权的转移	登记生效日: 2020.11.05 申请人由张正宇变更为叶豪 地址由131399 吉林省白城市大安市锦华街五委四组变更为317000 浙江省台州市临海市杜桥镇富南路88号
  2017/12/12	实质审查的生效	IPC(主分类): H01L 21/329 专利申请号: 201710564651.7 申请日: 2017.07.12
  2017/11/17	公开