发明专利 已授权

基于阳极技术的DLC镀膜装置

📄 申请号:CN201711132455.9 📄 发布日:2026/11/10

著录项目信息

申请日
2017-11-15
申请人
温州职业技术大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
IPC 分类号

技术画像

应用场景

切削工具涂层, 模具表面处理, 机械耐磨部件, 汽车零部件, 医疗器械

摘要

本发明公开了一种基于阳极技术的DLC镀膜装置,包括真空腔、旋转工件架、旋转电弧靶、旋转磁控靶、进气系统、抽真空系统、加热系统和电源系统,所述真空腔接地,所述电源系统包括磁控溅射电源、电弧电源、偏压电源、第一接触器、第二接触器、第三接触器和第四接触器;偏压电源的阴极连接旋转工件架上工件,通过第一接触器连接偏压电源的阳极和旋转电弧靶,通过第二接触器连接偏压电源的阳极和旋转磁控靶;磁控溅射电源的阴极连接旋转磁控靶,通过第三接触器连接磁控溅射电源的阳极和旋转电弧靶;电弧电源的阴极连接旋转电弧靶,通过第四接触器连接电弧电源的阳极和旋转磁控靶。本发明可显著提高DLC镀膜工艺的稳定性和DLC镀膜产品的性能。

常见问题

这项专利是否已经下证?

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权利要求书 (12项) 说明书 附图

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图1
图2
图3

法律状态时间线

议价
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📋 交易方式: 委托待转让 📌 交易状态: 在售 👁️ 浏览次数:3 ❤️ 收藏人数:93 📋 项目申报: 未申报

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