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一种钛酸锶/金/二氧化硅结构柔性透明电极及其制备方法

Name: 一种钛酸锶/金/二氧化硅结构柔性透明电极及其制备方法
Brand: 洛阳理工学院
SKU: 202210283565X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202210283565.X 📄 发布日：2026/11/10

著录项目信息

申请日

2022-03-22

公开号

CN114737153A

公开日

2022-07-12

申请人

洛阳理工学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_08

IPC 分类号

C23C14_08 , C23C14_20 , C23C14_35 , C23C14_56 ,

技术画像

所属领域

柔性透明电极柔性透明电极功能复合材料薄膜材料

应用场景

柔性显示, 触摸屏, 太阳能电池, 可穿戴电子, 光电器件

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摘要

本发明涉及一种SrTiO3/Au/SiO2结构柔性透明电极及其制备方法，利用磁控溅射沉积技术,以透明PET为衬底,通过调节磁控溅射系统的本底真空度、溅射总气压、固定靶和衬底的距离、溅射功率等，依次对SiO2靶材、Au靶材、SrTiO3靶材进行射频溅射，沉积得到SiO2层、Au层、SrTiO3层；所得SrTiO3/Au/SiO2结构柔性透明电极是以透明PET为衬底，从下往上依次是SiO2层，Au层，SrTiO3层。本发明原材料易得而且成本低廉，适合工业化生产，得到的柔性透明电极透光率高，方块电阻小，性能优良。

常见问题

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权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种弯管热缩带缠绕机

当前第 / 件

可回收钴酸镍/二氧化钛@AC@CFs光电催化材料的制备方法

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