发明专利已授权

一种表面梯度薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201711416464.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-12-25

公开号

CN108179384B

公开日

2020-08-18

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_30

IPC 分类号

C23C14_30 , C23C14_28 , C23C14_04 , C23C14_58 ,

技术画像

所属领域

薄膜材料薄膜材料表面工程材料制备工艺

应用场景

表面改性, 光学薄膜, 耐磨涂层, 生物医用涂层, 精密制造

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摘要

一种表面梯度薄膜的制备方法，包括表面梯度薄膜制备装置，所述制备方法还包括以下步骤：首先将真空腔室抽真空，源内的靶材通过坩埚加热或电子束加热气化，成为离散态的微观粒子，向四周扩散；在经过遮板位置时，部分微观粒子会被遮挡，通过调节遮板的大小、方向来控制经过的微观粒子的含量和扩散的主次方向；遮板可以保持一定姿态，使各个方向源的辐射强度不同，在某个方向形成线性梯度，也可以在制备过程中保持转动，使各个方向源的辐射强度均匀。本发明提供了一种通过但不仅限于气象沉积或溅射等制备工艺，使用二元到四元甚至更多元素种类的源材，在基质上制备出横向梯度线性变化，且厚度均匀的表面梯度薄膜的制备方法。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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