发明专利已授权

一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法

📄 申请号：CN201810719102.7 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2018-07-03

公开号

CN108977765A

公开日

2018-12-11

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_18 , C23C14_34 ,

技术画像

所属领域

固体润滑膜固体润滑膜纳米多层结构碳基复合薄膜

应用场景

航空航天润滑, 精密机械, 金属切削刀具, 模具涂层, 耐磨零部件

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摘要

本发明涉及材料摩擦磨损与固体润滑技术领域，尤其涉及一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法，所述固体润滑膜包括基体(1)，金属过渡层(2)和纳米多层膜(3)，所述纳米多层膜为由若干纳米复合单元组成的层状结构，所述纳米复合单元包括WSx层(4)，金属层(5)，非晶态碳膜层(6)和金属亚层(7)，所述金属层和金属亚层的材料相同或不同。本发明的固体润滑膜具有优异的抗氧化性能，摩擦因数较低，承载能力及耐磨性优良，与基体结合状态较好，使用寿命长；制备工艺简单，沉积过程易控制，成本低且制备过程安全无污染；能够应用于机械领域零部件表面的润滑防护膜，具有广阔的应用前景。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的制作方法

当前第 / 件

一种基于磁表面等离子的太赫兹连续超表面器件及其应用

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