发明专利已授权

一种基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的制作方法

📄 申请号：CN201710255596.3 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2017-04-19

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

G02B6_12

IPC 分类号

G02B6_12 , G02B6_122 , G02B6_125 , G02B6_13 , G02B6_28 ,

技术画像

所属领域

光波导光波导集成光学器件光通信器件

应用场景

光通信, 数据中心光互连, 光交换系统, 集成光路, 芯片间光互连

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摘要

一种基于椭圆形多模干涉原理的十字交叉波导的制作方法，包括以下步骤：(1)选择二氧化硅作为基底材料，上部生长一层硅片；(2)在硅片上进行融刻，制作基于多模干涉原理的椭圆形十字交叉波导的器件结构，包括竖向部分和横向部分，竖向部分和横向部分结构上完全一致，依次包括前端直波导区域、前端锥形模式匹配器区域、椭圆形多模干涉区域、后端锥形模式匹配器区域、后端直波导区域组成，横向和竖向部分垂直交叉且中心对称，对称中心在椭圆形多模干涉区域的中心；硅片的下部分保留硅基，同时椭圆形十字交叉波导的器件结构完全掩埋于二氧化硅中。本发明串扰和损耗抑制效果好、结构紧凑、制作工艺简单、易于实现、且通用性、鲁棒性好、成本低廉。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种换热管间滑动磨损的实验装置

当前第 / 件

一种WSx/Me/a-C/Me纳米多层结构固体润滑膜及其制备方法

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