发明专利已授权

制备高通量薄膜的磁控溅射装置及其制备高通量薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201911313706.2 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-12-19

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_50 , C23C14_04 ,

技术画像

所属领域

磁控溅射磁控溅射物理气相沉积薄膜制备技术

应用场景

新材料研发, 半导体薄膜, 光学镀膜, 新能源材料, 功能材料筛选

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摘要

一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置，包括基体、基片台、圆筒、带齿圆环和掩模组件，所述带齿圆环安装在圆筒的上端处，所述掩模组件安装在圆筒的下端处，所述基体位于圆筒内且与带齿圆环可转动连接，基片台安装在基体的底部上，所述基体上设有第一真空电机，第一真空电机的电机轴上设有第一齿轮，所述第一齿轮与带齿圆环的齿形结构啮合，第一真空电机用于驱动基体相对于掩模组件旋转。本发明提供了一种制备高通量薄膜的磁控溅射装置及其制备高通量薄膜的制备方法，该装置结构简单，适用于小型的磁控溅射镀膜机上，一次抽气完成实验并且不需要进行额外的靶材更换操作，就可以按照不同靶材制备出组分呈连续渐变式梯度分布的三元高通量薄膜。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种空气性能测试试验台用多功能密封接口装置

当前第 / 件

一种基于多端SOP的柔性互联配电系统多阶段恢复方法

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议价

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📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：14 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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