实用新型已授权

一种真空镀膜装置

Name: 一种真空镀膜装置
SKU: 2022209892199
Availability: InStock

📄 申请号：CN202220989219.9 📄 发布日：2026/08/12

著录项目信息

申请日

2022-04-25

公开号

CN217651300U

公开日

2022-10-25

申请人

宁波正德泰和触控光电有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_00

IPC 分类号

C23C14_00 , C23C14_50 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜真空镀膜薄膜沉积表面处理

应用场景

半导体制造, 光学镀膜, 消费电子, 汽车零部件, 精密机械

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摘要

本实用新型涉及真空镀膜领域，具体公开了一种真空镀膜装置，包括镀膜室，所述镀膜室的前侧铰接有密封门；所述镀膜室的顶部设有电机；所述电机的输出端固接有主动皮带盘；所述主动轴和从动轴的底端均固接有圆盘；所述圆盘的底端均开设有滑槽；所述滑槽的两侧均分别滑动连接有一号弧形板和二号弧形板；所述镀膜室内部的底端固接有一组二号弹簧；所述二号弹簧的顶端共同固接有横板；所述横板的顶端固接有一组底端呈开口状的卡杆；本实用新型利用一号弧形板和二号弧形板通过一号弹簧对待镀膜金属管之间产生挤压，从而实现对金属管的固定，且通过卡杆，能够避免待镀膜金属管在旋转的过程中发生碰撞，有利于镀膜的均匀性。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种真空镀膜工件自动清洗装置

当前第 / 件

一种带亮窗的防火门

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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