实用新型已授权

一种真空镀膜镀件除尘装置

Name: 一种真空镀膜镀件除尘装置
SKU: 202221041302X
Availability: InStock

📄 申请号：CN202221041302.X 📄 发布日：2026/08/12

著录项目信息

申请日

2022-04-29

公开号

CN217757619U

公开日

2022-11-08

申请人

宁波正德泰和触控光电有限公司

法律状态

已下证

专利类型

实用新型

主分类号

C23C14_02

IPC 分类号

C23C14_02 , B08B5_04 , B08B13_00 ,

技术画像

所属领域

真空镀膜真空镀膜表面处理除尘技术

应用场景

真空镀膜生产, 表面处理加工, 光学元件制造, 电子器件制造, 精密零部件制造

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摘要

本实用新型公开了真空镀膜机技术领域的一种真空镀膜镀件除尘装置，包括外壳、基片放置板、固定板、滑动块、平移单元、横臂、摆动杆，所述摆动杆下端设有吸气管，所述吸气管通过管路与外部负压设备贯通，所述吸气管由摆动单元驱动其沿与横臂的铰接处摆动。通过外部负压设备工作产生负压，经由吸气管能够对基片放置板上放置的镀件表面进行吸气除尘，另外通过平移单元驱动滑动块水平移动，进而使得吸气管的吸气范围能够扩大，此外，通过摆动单元驱动吸气管进行往复摆动，这样使得吸气管的吸气除尘范围能够进一步扩大，进而提高除尘效率。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种防火门的密封组件

当前第 / 件

一种半自动螺柱焊一体机

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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