发明专利已授权

一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置

📄 申请号：CN201910532293.0 📄 发布日：2026/08/04

著录项目信息

申请日

2019-06-19

公开号

CN110129758B

公开日

2024-02-09

申请人

浙江工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35

技术画像

所属领域

真空镀膜设备真空镀膜设备磁控溅射技术样品装卸装置

应用场景

半导体制造, 光学镀膜, 显示面板制造, 材料表面处理, 科研实验装备

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摘要

本发明公开了一种磁控溅射反应设备钩挂式换样品装置，包括取样长杆，装置还包括设于取样长杆前部的圆筒状的长杆端头、样片基座，所述样片基座设有基座连接部，所述基座连接部设有侧杆，所述长杆端头前部开设有侧杆滑入槽，所述长杆端头后部安装有电磁铁，所述电磁铁设于长杆端头的后方，所述长杆端头内设有回复机构，所述回复机构连接有挂钩，所述挂钩后部设有吸合头，所述挂钩前部设有供侧杆钩挂的槽，所述挂钩绕回复机构转动时，吸合头靠近电磁铁。本发明在缩短搬运的时间，且要避免样片在搬运过程中受到损伤，以提高生产效率和成品率，本发明结构操作便捷，且能够通过鸭嘴槽进行水平方向上的小幅度调整，使其操作更为灵活。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种基于双通道生成对抗网络的热计量数据填补方法

当前第 / 件

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