发明专利已授权

一种多级触发脉冲电弧源装置

📄 申请号：CN202210602274.2 📄 发布日：2026/07/29

著录项目信息

申请日

2022-05-30

公开号

CN114990498B

公开日

2024-02-02

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32 , H01J37_32 ,

技术画像

所属领域

电弧源技术电弧源技术脉冲电源技术等离子体表面处理

应用场景

真空镀膜, 材料表面处理, 离子镀膜, 工业涂层制备

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摘要

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种多级触发脉冲电弧源装置，包括石墨阴极、阴极安装柱、绝缘套筒、触发放电阳极环、一级点火电极、二级点火电极，沿面击穿陶瓷、二级点火电极支撑座、绝缘套筒、二级点火电极引线柱、二级点火电源、一级点火电源、脉冲电弧电源、一级点火电极引线柱、一级点火电极触针、一级点火级固定筒、阳极环固定装置、脉冲电弧源阳极和真空室法兰；本发明采用逐级放大的方式，完成脉冲电弧的放电，完成靶材材料的蒸发，具有高真空条件下电弧放电、脉冲电弧放电瞬时电流大、膜层沉积效率高、靶材利用率高的技术特点。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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