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本发明涉及半导体设备制造技术领域，公开了一种离子植入机，其中离子植入机包括：离子源结构，离子源结构所采用的离子源为电感耦合等离子体源；分析磁体，与离子源结构连接，能够接收离子源结构提供的植入离子束，并分离得到植入离子束；价态转换装置，与分析磁体连接，能够接收从分析磁体出射的植入离子束，并对植入离子束中离子的价态进行转化。本发明提供的离子植入机的离子源结构通过电感耦合等离子技术形成需要植入的等离子体。由于在离子源结构的整个工作过程中不需要金属器件参与，因此从源头减少了金属离子的产生。并且通过价态转换装置能够对植入离子束中的离子的价态进行转化，从而提高离子植入机的适用性。

本发明公开一种大口径光学元件的等离子体刻蚀方法，该方法借鉴了射频磁控溅射镀膜技术中的射频反常辉光放电方式，可形成高密度大面积的等离子体，利用该装置耦合正交磁场的定向移动，可驱动等离子体产生定向的运动，实现光学元件表面由线及面的加工。引入活性气体被电离激发，利用真空系统固有的气体分配器所产生的流导场，引导自由基作用于工件表面，亦会带来材料刻蚀效率的提高。而通过射频电场的参数（如功率等），磁场的参数（如各磁极大小的变化，包括平衡和非平衡模式以及磁极定向移动的速度等），以及气体相关参数（包括气体的种类，流量和压力等），可对等离子体的种类，密度和分布进行精确的调控，实现了光学元件表面的高效率大面积等离子体抛光。

本申请提供一种上电极拆装辅助设备，涉及半导体技术领域。本申请通过伸缩件连接支撑支架与固定件，以通过该伸缩件调节支撑支架与固定件之间的间距，而后通过将第一承载板和第二承载板分别与固定件滑动连接，并将第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面设置在同一水平面内，使第一承载板的承载表面与第二承载板的承载表面共同形成承载平面以承载待拆装上电极，从而实现在上电极拆装过程中对不同尺寸和/或不同安装高度的上电极进行承载的功能，防止上电极在拆装时突然掉落，减少拆装人员数目，降低拆装难度，提升拆装效率，并降低出现人员安全事故和器件人为损伤的出现概率。

本发明提供了一种镀膜腔室清洗装置及镀膜腔室清洗方法，涉及有机镀膜技术领域，包括：转动驱动装置、水平驱动装置、旋转平台、反射镜和激光发射器。通过激光发射器向反射镜发射激光，利用反射镜将激光反射到有机镀膜腔室的内壁上，对有机镀膜腔室内壁进行清洗，并且通过转动驱动装置带动旋转平台上的反射镜转动，通过水平驱动装置带动反射镜相对于旋转平台移动，改变激光发射方向，对有机镀膜腔室的内壁进行全方位进行，缓解了现有技术中存在的传统的清洗有机镀膜腔室内壁方法费工费时，严重影响生产进度的技术问题，实现了快速对有机镀膜腔室内壁清洗的技术效果。

本实用新型属于除胶装置技术领域，尤其是一种等离子除胶装置，针对现有等离子除胶装置使用不便的问题，现提出如下方案，其包括除胶装置，所述除胶装置为中空结构，所述除胶装置的内壁上滑动连接有框架，所述框架的顶部固定安装有齿条，所述除胶装置内设有两个链轮，两个链轮上套设有同一个链条，位于右侧位置的链轮的底部固定安装有带动齿轮，所述带动齿轮与齿条相啮合，所述除胶装置的顶部固定安装有定位盘，所述除胶装置的左侧转动连接有门板，所述门板为中空结构，所述门板的内壁上设有定位机构，本实用新型在门板上按动按动杆，按动杆可对门板进行解锁，然后再打开门板，门板就可将框架带出，方便对框架填充物品。