电弧源技术 - 专利交易市场|柿子坊知识产权运营平台

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本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种多级触发脉冲电弧源装置，包括石墨阴极、阴极安装柱、绝缘套筒、触发放电阳极环、一级点火电极、二级点火电极，沿面击穿陶瓷、二级点火电极支撑座、绝缘套筒、二级点火电极引线柱、二级点火电源、一级点火电源、脉冲电弧电源、一级点火电极引线柱、一级点火电极触针、一级点火级固定筒、阳极环固定装置、脉冲电弧源阳极和真空室法兰；本发明采用逐级放大的方式，完成脉冲电弧的放电，完成靶材材料的蒸发，具有高真空条件下电弧放电、脉冲电弧放电瞬时电流大、膜层沉积效率高、靶材利用率高的技术特点。

📄 2022106022742 📂 C23C14_32 👤 安徽工业大学 📅 2022-05-30

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一种多级触发脉冲电弧源装置

2022106022742 · 安徽工业大学

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