发明专利已授权

一种热蒸发镀膜方法及其装置

📄 申请号：CN201510496271.5 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2015-08-14

公开号

CN105002465A

公开日

2015-10-28

申请人

西安工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_26

IPC 分类号

C23C14_26

技术画像

所属领域

真空镀膜真空镀膜物理气相沉积薄膜制备

应用场景

光学镀膜, 电子器件制造, 装饰涂层, 功能薄膜制备

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摘要

本发明涉及真空镀膜技术领域，具体涉及一种热蒸发镀膜方法及其装置。所述镀膜的实现方法是：从蒸发源扩散出来的膜料粒子，在其传输到基片表面的过程中，允许部分的膜料粒子通过通道传输到基片表面，实现薄膜沉积，其余的膜料粒子受到遮挡，无法沉积到基片上，通道位于基片和蒸发源之间，调节通道通-阻的比例和变换快慢，实现对膜料粒子的扩散控制。本发明同时提供可以实现该方法的装置。本发明的方法和装置结构简单，成本低廉，系统紧凑，能根据需要对沉积频率和占空比进行调节，实现对膜厚和结构的有效控制。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种信号检测方法

当前第 / 件

一种基于超像素的自适应彩色图像分割方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：26 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

资金托管权属尽调包过户

🏢 淄博智来知识产权服务有限公司

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