发明专利已授权

一种低应力类金刚石薄膜的制备方法

📄 申请号：CN201910348527.6 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2019-04-28

公开号

CN110106470A

公开日

2019-08-09

申请人

陕西越碳新材科技有限公司

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_06

IPC 分类号

C23C14_06 , C23C14_34 ,

技术画像

所属领域

类金刚石薄膜类金刚石薄膜真空镀膜薄膜沉积技术

应用场景

刀具涂层, 模具涂层, 汽车零部件, 医疗器械, 精密机械

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摘要

本发明涉及一种低应力类金刚石薄膜的制备方法。本发明的目的是要在保证DLC薄膜的光学透过率及硬度的基础上，减小其应力。所提供的技术方案是：一种提高类金刚石薄膜抗激光损伤能力的方法，是在DLC及介质薄膜的表面形成具有闭环的磁通路，且使闭环的磁通量具有最大的梯度。所提供的装置包括导磁外框，在外框内设置有一对永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁，第一永磁铁和第二永磁铁的距离可调。利用本发明的方法，对于DLC薄膜可以将损伤阈值从0.57 J/cm2提高到1.23 J/cm2。对于介质薄膜，可以使激光损伤面积减少50%左右。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

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当前第 / 件

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：35 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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