发明专利已授权

一种抛物面顶环形天线式金刚石膜沉积装置

📄 申请号：CN202010675801.3 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2020-07-14

公开号

CN111945137A

公开日

2020-11-17

申请人

杭州电子科技大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C16_517

IPC 分类号

C23C16_517 , C23C16_27 ,

技术画像

所属领域

天线金刚石膜制备化学气相沉积微波等离子体技术天线

应用场景

金刚石涂层刀具, 光学窗口, 半导体散热, 耐磨涂层, 精密工具制造

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摘要

本发明涉及一种抛物面顶环形天线式金刚石膜沉积装置，包括微波发生单元；圆柱形上腔体，内部设置抛物面顶；抛物面顶构成环形天线，用于将微波反射并汇聚；抛物面顶内顶部设置可调反射部，可调反射部能够上下调节；圆柱形上腔体具有进气口；圆柱形上腔体内具有微波通道，用于将微波导入抛物面顶内，微波通道的微波输入口连接微波发生单元；圆柱形下腔体，底部设置圆柱形下反射体，圆柱形下反射体中部开孔设置可调节式沉积台，可调节式沉积台上设置用于沉积金刚石膜的基片；圆柱形下反射体设置出气口。可调反射部和可调节式沉积台的设置，强化了微波谐振腔的调谐手段，可以实时优化等离子体的分布，实现高质量和高效率的金刚石膜制备。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

强方向加权边缘检测及RNL拟合优度的眼睑定位方法

当前第 / 件

一种基于特征值搜索的轻量级直接跟踪方法

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：22 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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