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本发明技术方案公开了一种透明石英玻璃板及其制作方法，化学气相沉积工艺，所述化学气相沉积工艺包括：在化学气相沉积工艺的反应室内放置晶圆，所述反应室上方设有双紫外光源；在所述双紫外光源和晶圆之间设置透明石英玻璃板，所述透明石英玻璃板靠近所述双紫外光源的表面具有若干倾斜面；向所述反应室通入反应气体；采用所述双紫外光源照射所述晶圆，所述双紫外光源射出的紫外光透过所述透明石英玻璃板照射至所述晶圆的表面。本发明技术方案可以减少或消除光的干涉问题，进而改善晶圆表面的成膜均匀性。

本发明公开了一种碳/碳复合材料快速气相沉积增密的方法，包括下述步骤：(1)将密度为1.2～1.5g/cm3的碳/碳复合材料坯体表面加工平整，清洗表面油渍备用；(2)将碳/碳复合材料坯体置于圆筒形气相沉积工装中，使激光束能够通过气相沉积工装的上盖的中心圆孔，聚焦于碳/碳复合材料坯体表面；(3)采用大功率激光，控制激光波长为10.6μm、输出功率为3～4.5kW，快速加热、气化碳原子并使其沉积于碳/碳复合材料坯体中，即实现碳/碳复合材料的快速气相沉积增密。本发明通过采用大功率激光促进碳/碳复合材料气相沉积过程，使热解碳的沉积速率达到10～15μm/s，比等温CVI方法提高5个数量级。