发明专利已授权

一种电弧阴极磁过滤镀膜装置

📄 申请号：CN202110746031.1 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2021-07-01

公开号

CN113463041A

公开日

2021-10-01

申请人

安徽工业大学

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_32

IPC 分类号

C23C14_32

技术画像

所属领域

电弧镀膜电弧镀膜磁过滤技术真空镀膜设备

应用场景

工具涂层, 耐磨涂层, 表面防护, 装饰涂层, 光学薄膜

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摘要

本发明公开了一种电弧阴极磁过滤镀膜装置，属于真空镀膜技术领域，包括真空腔室、挡板组件、工件转架、两个电弧阴极组、四个第二真空室、两个第一真空室、第一线圈组、第二线圈组、第三线圈组；所述工件转架、所述挡板组件均设置在所述真空腔室的内部，所述挡板组件与真空腔室活动连接并接地。本发明将过滤系统放大，使等离子体局部横穿真空室的特点，则镀膜的区域就被放大了，同时通过接地的大型挡板，能够有效地阻断等离子体从真空腔室一侧向另一侧的传输，进而阻挡等离子体穿越工件转架区域后直接到达另一端电弧阴极位置，能使大型的工件转架浸入等离子体中，进而完成大面积地均匀沉积。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

一种裂解炭黑的改性方法及其应用

当前第 / 件

一种基于数控谐振频率的感应线圈信号接收电路

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：25 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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