发明专利已授权

曲面磁控溅射阴极、闭合磁场涂层磁控溅射设备及其应用方法

📄 申请号：CN201810160010.X 📄 发布日：2026/07/23

著录项目信息

申请日

2018-02-26

公开号

CN108396295B

公开日

2023-06-27

申请人

温州职业技术学院

法律状态

已下证

专利类型

发明

主分类号

C23C14_35

IPC 分类号

C23C14_35 , C23C14_06 , C23C14_18 , C23C14_10 , C23C14_08 , C23C14_14 , C23C14_02 ,

技术画像

所属领域

磁控溅射设备磁控溅射真空镀膜设备表面涂层技术溅射设备磁控溅射设备

应用场景

工具涂层, 模具涂层, 装饰镀膜, 光学薄膜, 半导体制造

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摘要

本发明公开了一种曲面磁控溅射阴极、闭合磁场涂层磁控溅射设备及其应用方法，该磁控溅射阴极包括曲面靶、水冷套、电极、绝缘套、屏蔽组件、磁靴、磁靴转动、支撑固定机构，绝缘套对阴极组件进行电位绝缘，屏蔽组件为放电过程中的悬浮电位组件，磁靴转动可实现磁靴的滑动，提高靶材的利用率，曲面靶靶材是由多组表面可复合非金属的金属基片瓦拼接并通过螺栓固定在由不锈钢管表面焊接水冷管的水冷套上，通过电极接通负电压进行磁控溅射辉光放电，受阴极形状限制，辉光放电中的电子发生汇聚产生空心阴极效应，即提高了溅射速率，又增强了粒子的离化率。本发明可在高真空下磁控溅射产生大束流高离化率的粒子，获得优质的涂层。

权利要求书 (12项) 说明书附图

……

图1

图2

图3

法律状态时间线

水笔步进式自动进给输送机构

当前第 / 件

一种线材类金刚石涂层加工装置

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议价

不含过户费

📋 交易方式： 委托待转让 📌 交易状态：在售 👁️ 浏览次数：21 ❤️ 收藏人数：93 📋 项目申报： 未申报

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