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发明专利
已授权
一种高密度功能团簇材料及其制备方法
📄 申请号:CN202110409689.3
📄 发布日:2026/07/09
著录项目信息
申请日
2021-04-16
公开号
CN113249684B
公开日
2023-05-16
申请人
杭州电子科技大学
法律状态
已下证
专利类型
发明
主分类号
C23C14_16
IPC 分类号
C23C14_16
,
C23C14_24
,
C23C14_02
,
技术画像
所属领域
功能材料
功能材料
纳米材料
团簇材料
应用场景
催化材料, 能源材料, 电子器件, 生物医药, 环境治理
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摘要
本发明公开了一种高密度功能团簇材料及其制备方法,以Si(111)‑7×7再构表面为衬底,利用特制真空设备实现,所述特制真空设备包括真空腔体、外部电源,真空腔体内设有钴或镍的高纯度金属丝、衬底托,且高纯度金属丝、置于衬底托上的衬底均与设于真空腔体外的外部电源分别通过导线连接,真空腔体内可导入丙醇气体;通过对衬底进行弱电流加热、精准调控丙醇气体吸附、以及对高纯度金属丝进行强电流加热可以使得Co或Ni原子精准沉积于各个硅基底单元的中心区域。本发明所研制的高密度功能团簇材料,团簇与团簇之间的距离能够被有效控制在10nm以下,整体呈现规则阵列分布,且有效隔绝了团簇间的不良影响,具有良好的磁各向异性。
权利要求书 (12项)
说明书
附图
……
……
图1
图2
图3
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